真空碳管燒結(jié)爐是一種利用電熱效應(yīng)實(shí)現(xiàn)高溫?zé)Y(jié)的精密設(shè)備，其核心結(jié)構(gòu)采用立式一體化設(shè)計(jì)，爐體與控制柜集成，便于操作。該設(shè)備以石墨管為發(fā)熱體，通過(guò)電阻加熱原理將電能轉(zhuǎn)化為熱能，在真空或保護(hù)氣氛環(huán)境下對(duì)材料進(jìn)行高溫處理。其雙層水冷夾套爐殼結(jié)構(gòu)可有效隔熱，內(nèi)層不銹鋼拋光處理確保真空密封性，外層碳鋼防銹設(shè)計(jì)延長(zhǎng)設(shè)備壽命。
設(shè)備溫度控制精度高，采用PLC模擬量或溫度控制儀進(jìn)行閉環(huán)調(diào)控，配合紅外測(cè)溫與熱電偶雙重測(cè)溫系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)2000℃至2300℃超高溫區(qū)間的精準(zhǔn)控溫。其極限真空度可達(dá)10?³Pa，通過(guò)機(jī)械泵+擴(kuò)散泵/分子泵組合實(shí)現(xiàn)高效抽氣，壓升率≤2Pa/h，滿(mǎn)足高純度材料燒結(jié)需求。
一、操作前準(zhǔn)備
設(shè)備檢查
確認(rèn)水冷系統(tǒng)（如循環(huán)水泵）正常運(yùn)行，無(wú)漏水現(xiàn)象。
檢查真空系統(tǒng)（機(jī)械泵、分子泵）是否完好，閥門(mén)開(kāi)關(guān)靈活。
確認(rèn)電氣控制系統(tǒng)（溫度、壓力、流量?jī)x表）正常，無(wú)報(bào)警信號(hào)。
清理爐膛內(nèi)殘留物，確保石墨坩堝或碳管潔凈。
物料準(zhǔn)備
將待燒結(jié)材料均勻裝入石墨坩堝或碳管中，避免超載（通常不超過(guò)爐膛容積的80%）。
若需分層燒結(jié)，可用石墨板或碳?xì)址指舨牧?，確保受熱均勻。
放置熱電偶（通常為鎢錸熱電偶）于物料中心位置，用于測(cè)溫和控溫。
氣氛與密封
根據(jù)工藝要求選擇氣氛（如高純氬氣、氮?dú)饣蛘婵眨?，檢查氣路連接是否緊密。
關(guān)閉爐門(mén)并擰緊鎖緊裝置，確保爐體密封性。
二、啟動(dòng)與升溫
抽真空
啟動(dòng)機(jī)械泵預(yù)抽真空至10~50 Pa，隨后啟動(dòng)分子泵繼續(xù)抽氣，直至爐內(nèi)真空度達(dá)到工藝要求（如1×10?³Pa以下）。
若采用惰性氣氛，可在抽真空后充入高純氬氣或氮?dú)庵猎O(shè)定壓力（如0.02~0.05 MPa）。
升溫程序
設(shè)置控溫儀參數(shù)：
升溫速率：根據(jù)材料特性選擇（如5~15℃/min），避免過(guò)快導(dǎo)致開(kāi)裂。
目標(biāo)溫度：按工藝要求設(shè)定（如1400~2800℃，碳管最高耐溫通常≤3000℃）。
保溫時(shí)間：根據(jù)材料厚度和燒結(jié)需求設(shè)定（如30~120分鐘）。
啟動(dòng)加熱電源，逐步升高電流或電壓，觀察溫度曲線是否平穩(wěn)。
三、燒結(jié)過(guò)程控制
溫度監(jiān)控
實(shí)時(shí)關(guān)注控溫儀顯示溫度，確保與設(shè)定值偏差在±5℃以?xún)?nèi)。
若使用紅外測(cè)溫儀，需定期校準(zhǔn)并與熱電偶數(shù)據(jù)對(duì)比。
氣氛維護(hù)
持續(xù)供氣維持爐內(nèi)壓力穩(wěn)定，防止氣氛波動(dòng)影響燒結(jié)質(zhì)量。
定期檢查氣瓶余量，避免氣體不足導(dǎo)致中斷。
異常處理
如遇停電或設(shè)備故障，立即切斷加熱電源，啟用備用水冷系統(tǒng)降溫。
若爐內(nèi)壓力突變，迅速關(guān)閉氣源并檢查泄漏點(diǎn)。
四、降溫與出爐
自然降溫
關(guān)閉加熱電源，保持惰性氣氛或真空狀態(tài)，以5~10℃/min速率自然降溫。
禁止急冷（如開(kāi)爐門(mén)散熱），以免材料因溫差過(guò)大產(chǎn)生應(yīng)力裂紋。
氣體置換（可選）
當(dāng)溫度降至400℃以下時(shí)，可充入少量氮?dú)饣驓鍤庵脫Q爐內(nèi)氣氛，防止低溫氧化。
出爐操作
待爐溫降至100℃以下，緩慢打開(kāi)爐門(mén)（避免高溫氣流沖擊）。
使用鑷子或石墨夾具取出燒結(jié)后的樣品，避免污染或碰撞損傷。
五、后處理與維護(hù)
樣品處理
清理樣品表面吸附的石墨屑或碳?xì)埩粑?，必要時(shí)進(jìn)行拋光或清洗。
檢測(cè)燒結(jié)密度、硬度、晶相結(jié)構(gòu)等指標(biāo)，評(píng)估工藝效果。
設(shè)備清潔
清理爐膛內(nèi)的碳渣或?yàn)R射物，檢查石墨坩堝/碳管是否有裂紋或變形。
定期更換真空泵油，清潔冷卻水過(guò)濾器。
記錄與歸檔
記錄本次燒結(jié)的工藝參數(shù)（溫度、氣氛、升溫速率）、樣品信息及設(shè)備狀態(tài)。
存檔數(shù)據(jù)用于后續(xù)工藝優(yōu)化或質(zhì)量追溯。
